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1700℃三溫區(qū)管式爐

1700℃三溫區(qū)管式爐

簡要描述:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號: GSL-1700X-III-F3LV

所屬分類:多溫區(qū)管式爐

更新時間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

 性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃
● 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,最大-程度減少能量損失
● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長爐膛的使用壽命
● 三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制
最大功率10KW(需要75A的空氣開關(guān) )
電壓AC 380V 50 Hz
加熱區(qū)● 總加熱區(qū)長度:25" (630 mm)
● 加熱溫區(qū)1長度:7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,最高溫度可達1400℃ 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系
● 升溫速率:10°C/min
● 加熱溫區(qū)2長度:10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱,最高溫度可達1700℃
● 最快升溫速率:5°C/min
● 加熱溫區(qū)3長度:7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,最高溫度可達1400℃
● 最大升溫速率:10°C/min
爐管和法蘭尺寸● 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
● (標配)( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L
● 一對60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表
● 儀器中包括4個氧化鋁管堵
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溫控系統(tǒng)3個溫控系統(tǒng),都是PID30段程序化控溫
控溫精確度+/-1°C
低真空系統(tǒng)● 采用TRP-12的雙旋機械泵,其針對于本公司的管式爐,真空度可達到 10-2 Torr.
● 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接
防腐型真空計其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
三路浮子混氣系統(tǒng)● 3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。
● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
● 一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接
● 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥
尺寸高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
質(zhì)保期& 質(zhì)量認證一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified


GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐

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