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OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐

OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐

簡要描述：OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達20ºC/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口，儀表內(nèi)配有控溫軟件，可將升溫程序和曲線導出。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：蒸發(fā)鍍膜設備

更新時間：2023-11-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐


性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)&真空腔

● 兩個獨立的加熱裝置，兩個獨立控溫裝置及兩路浮子流量計均被精巧的設計在一個可移動的鋁合金框架上。
● 腔體是由高純石英管制成
● 真空法蘭由不銹鋼制成

基本參數(shù)

● 石英腔體尺寸：11"O.D×10.8"I.D×9"H mm
● 推薦加熱速率：≦10℃/s
● 最高工作溫度：≦600℃
● 總功率：8KW（8根紅外燈管，單根功率1KW）
● 電壓：AC220V，50Hz，單相（需20A的空氣開關(guān)）

加熱元件和載樣臺

● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實現(xiàn)快速加熱
● 兩個獨立的加熱裝置之間的距離可調(diào)0-70mm
● 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構(gòu)上
● 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（Ф3"×T0.5 mm ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
● 可將AlN陶瓷片更換為石墨片（請點擊下圖3選購）
● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料
● 如需要更換紅外燈管，請點擊下圖4選購
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真空法蘭

● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
● 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
● 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
● 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵（標配不含機械泵）抽真空度可達10-2 torr，頂部法蘭可手動操作進行上下移動來進行加載/卸載襯底和蒸發(fā)料。
● 一個防腐型數(shù)顯式真空表安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內(nèi)真空度。
 image.png

溫控系統(tǒng)

● 兩個數(shù)顯式溫控表都可設置30段控溫程序
● 每個溫控表都具有PID調(diào)節(jié)功能，保護加熱器不受過熱影響同時具有報警功能，避免過熱使熱電偶損壞
● 該設備可與計算機相連接，可選購控溫軟件，將溫度程序設置和溫度曲線導入電腦中。
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工作溫度

每個加熱器最高溫度:≦600℃

熱電偶

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

可選配件

水冷機
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外形尺寸

850(L)×745(W)×1615(H) mm
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警告● 石英管密封采用真空密封，管內(nèi)可處于微正壓但壓力要小于0.02MPa。
● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。
● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
應用提示

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質(zhì)量認證

CE認證

保修期一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務承諾書。






  OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐

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